硅微型机械振动陀螺仪
silicon micromachined gyroscopes
微型机械操纵器
mechanical micromanipulator
微型机械电子系统
micro electro-mechanical system
Micro electromechanical system
micro-electromechamical systems
微型机械技术
micro-machining techniques
精密微小型机械系统
precise microminiature mechanical system
微型电子机械系统
MEMS(micro-electro-mechanical system
MEMS
微型化学机械系统(MCMS)
miniaturized chemico-mechanical system
CIS环境单机微型计算器
CIS environments stand-alone microcomputers
IAPS CIS 环境-单机微型计算器
IAPS CIS environments-stand-alone microcomputers