步进扫描投影对准曝光器
step and scan projection aligner
步进式投影对准曝光器
stepping projection aligner
大型液晶显示基板对准曝光器
aligner for large liquid crystal display substrate
电子束曝光器
electron beam exposure system
ebes
electron beam aligner
electron beam exposer
镜面投影对准曝光器
mirror projection aligner
镜面透镜对准曝光器
mirror lens projection aligner
密接-近接对准曝光器
contact-proximity aligner
扫描型投影对准曝光器
scanning projection aligner
同步加速器放射线对准曝光器
synchrotron radiation aligner
线整片晶圆对准曝光器
X-ray full wafer aligner x
X射线曝光因数自动记录器
automatic X-ray exposure factor recorder
半自动曝光控制器
semi-automatic exposure control