半自动曝光控制器
semi-automatic exposure control
薄片的步进式投影曝光装置
wafer stepper projection system
单位放大投影曝光装置
unity magnification projection unit
可变电子束曝光装置
variable shaped electron beam exposure system
射线对准曝光装置
x ray align and exposure equipmentx
一比一投影曝光装置
one to one projection system
自动曝光控制
automatic exposure control
auto-exposure control
自动曝光控制系统
automatic exposure control system