电光测光器
electro-optical light-detecting apparatus
双光子荧光监测器
two-photon-fluorescence monitor
步进扫描投影对准曝光器
step and scan projection aligner
步进式投影对准曝光器
stepping projection aligner
大型液晶显示基板对准曝光器
aligner for large liquid crystal display substrate
电子束曝光器
electron beam exposer
ebes
electron beam exposure system
electron beam aligner
镜面投影对准曝光器
mirror projection aligner
镜面透镜对准曝光器
mirror lens projection aligner
密接-近接对准曝光器
contact-proximity aligner