等离子处理机控制系统
plasma processor control system
微波等离子处理
Microwave plasma processing
重离子等离子体加速器
heavy ion plasma accelerator
氮等离子钝化
nitride plasma passivation
氮等离子浸没注入
N+ plasma ion implantation
氮等离子体浸没离子注入
Nitrogen plasma immersion ion implantation N-P
低温等离子氮化
low temperature plasma nitriding