多圆片等离子体反应器
multiwafer plasma reactor
填充床放电等离子体反应器
packed-bed discharge plasma reactor
圆柱形等离子体反应器
cylindrical plasma reactor
等离子体离子辅助镀膜
plasma assisted deposition
电子回旋共振微波反应等离子体
ECR electron cyclotron resonance plasma
微波等离子体离子化检测器
microwave induced plasma ionization detector