步进扫描投影对准曝光器
step and scan projection aligner
步进式投影对准曝光器
stepping projection aligner
扫描型投影对准曝光器
scanning projection aligner
远紫外线投影曝光对准器
deep uv projection aligner
镜面透镜对准曝光器
mirror lens projection aligner
大型液晶显示基板对准曝光器
aligner for large liquid crystal display substrate
密接-近接对准曝光器
contact-proximity aligner
同步加速器放射线对准曝光器
synchrotron radiation aligner
线整片晶圆对准曝光器
X-ray full wafer aligner x
超平场显微镜投影镜头
ultraplane microscope projection lens
镜面投影法
mirror surface projection method MPM