镜面投影对准曝光器
mirror projection aligner
步进扫描投影对准曝光器
step and scan projection aligner
步进式投影对准曝光器
stepping projection aligner
大型液晶显示基板对准曝光器
aligner for large liquid crystal display substrate
密接-近接对准曝光器
contact-proximity aligner
扫描型投影对准曝光器
scanning projection aligner
同步加速器放射线对准曝光器
synchrotron radiation aligner
线整片晶圆对准曝光器
X-ray full wafer aligner x
远紫外线投影曝光对准器
deep uv projection aligner
经由透镜对准
through-the-lens alignment